高温磷酸蚀刻机
使用制程：
Side Etch/L.B.R
Wet pss
制程温度可达350度
全自动供酸、补酸、精密配酸
环控流场式热酸气排放
提供陶瓷远红外线及薄膜式加热方式
可算配PC Base
