高溫磷酸蝕刻機
使用製程：
Side Etch/L.B.R
Wet pss
製程溫度可達350度
全自動供酸、補酸、精密配酸
環控流場式熱酸氣排放
提供陶瓷遠紅外線及薄膜式加熱方式
可算配PC Base
