廣氾應用於：MEMS、LED、GaAs、AiC、Ge、GaN、半導體精密零組件清洗，光學，硬碟機零組件清洗。
自動清洗機適用製程：
顯影-去光阻-蝕刻-有機-去臘
清洗各式零件
蝕刻及洗淨晶圓
三段式昇降機構
線性凸輪震盪
操作簡單，提升效益，成本低廉。
尺寸：2" 3" 4" 6" 8" 12"
